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多項選擇題

激光加工設(shè)備主要包括電源、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。

A.激光器
B.光學(xué)系統(tǒng)
C.機械系統(tǒng)
D.控制系統(tǒng)
E.加溫系統(tǒng)

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多項選擇題

精密研磨、拋光時主要工藝因素有工藝設(shè)備、研具、磨粒、加工液、（）。

A.加工參數(shù)
B.加工環(huán)境
C.加工溫度
D.加工時間
E.加工質(zhì)量

多項選擇題

實現(xiàn)超精密加工的技術(shù)支撐條件主要包括：（）、高質(zhì)量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

A.超精密加工機理與工藝方法
B.超精密加工機床設(shè)備
C.超精密加工工具
D.測量補償
E.誤差補償

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