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單項(xiàng)選擇題

關(guān)于離子束加工,以下說(shuō)法中不正確的是()。

A.濺射沉積是加速后的離子直接射向工件
B.離子源是各種設(shè)備所共有的關(guān)鍵部分
C.材料的濺射率與離子束的入射角有關(guān)

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