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【簡(jiǎn)答題】什么是擴(kuò)散工藝?
答案:
擴(kuò)散是微電子工藝中最基本的工藝之一,是在約1000℃的高溫、p型或n型雜質(zhì)氣氛中,使雜質(zhì)向襯底硅片的確定區(qū)域內(nèi)擴(kuò)散,達(dá)到...
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化學(xué)反應(yīng)控制階段和擴(kuò)散控制階段
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