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【簡答題】熱蒸發(fā)制備薄膜的過程有哪些?
答案:
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分為暗流區(qū),湯生放電區(qū),輝光放電區(qū),電弧放電區(qū)。
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c-d:前期輝光放電區(qū)
...
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答案:
常壓化學氣相淀積、低壓化學氣相淀積、等離子增強化學氣相淀積和高密度等離子體化學氣相淀積
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