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填空題

步進(jìn)電機(jī)的步距角指在（）的作用下，電機(jī)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)過的角位移。

答案：電脈沖

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電容式位移傳感器是將被測物理量轉(zhuǎn)換為（）變化的裝置。

答案：電容

機(jī)電一體化技術(shù)是（）與（）的結(jié)合；

答案：機(jī)械；微電子