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填空題

多組分多源蒸發(fā)的方法有：同時蒸發(fā)，（）蒸發(fā)兩種。

答案：順次

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答案：射頻

在硅片上熱氧化0.5μm厚的氧化層時，硅片增厚了（）μm。

答案： 0.28

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