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名詞解釋
外延
答案：
一種在單晶或多晶襯底上生長(zhǎng)一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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名詞解釋
恒定源擴(kuò)散
答案：
在擴(kuò)散過(guò)程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度Ns始終保持不變。例如，基區(qū)、發(fā)射區(qū)的預(yù)淀積，箱法擴(kuò)散。
