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名詞解釋
離子注入的晶格損傷
答案：
高能離子注入硅片后與靶原子發(fā)生一系列碰撞，可能使靶原子發(fā)生位移，被位移原子還可能把能量依次傳給其它原子，結(jié)果產(chǎn)生一系列的...
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名詞解釋
級(jí)聯(lián)碰撞
答案：
位移原子稱為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子，稱為第一級(jí)反沖原子，與第一級(jí)反沖原子碰撞而位移的原子，稱為第二級(jí)反...
