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名詞解釋

答案：由于光刻膠無法承受高溫過程，擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片，它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)：假如雜質(zhì)原子沿硅片表...

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離子從進(jìn)入靶到停止為止走過的總距離。

答案：

所有入射離子的投影射程的平均值。