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名詞解釋

非橋鍵氧

答案：

只與一個(gè)Si原子聯(lián)結(jié)的氧，是少數(shù)。

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橋鍵氧

答案：

連接兩個(gè)Si-O四面體的氧稱為橋鍵氧，是多數(shù)。

CMP

答案：

化學(xué)機(jī)械拋光。