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名詞解釋

核碰撞

答案：

在離子注入中，注入離子與靶原子核碰撞，將能量傳給靶核，離子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，靶核產(chǎn)生位移。

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預(yù)淀積

答案：與擴散實在較低溫度下，采用恒定表面源擴散方式，在硅片表面擴散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質(zhì)，由于溫度較低，且時間...

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