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名詞解釋

RTA（RTP）

答案：

就是快速退火，即降低退火溫度，或者縮短退火時間完成退火。

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退火

答案：如果將注有離子的硅片在一定溫度下，經(jīng)過適當時間的熱處理，則硅片中的損傷就會得到大部分消除，少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會...

溝道效應(yīng)

答案：

離子沿溝道前進，核阻擋作用小，因而射程比非晶靶遠得多，這種現(xiàn)象叫溝道效應(yīng)。

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