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名詞解釋

外延

答案:

在單晶襯底上按襯底晶向生長(zhǎng)一層新的單晶薄膜的工藝技術(shù)。

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名詞解釋

保形覆蓋

答案:

所有圖形上淀積的薄膜厚度相同;也稱(chēng)共性覆蓋。

名詞解釋

PECVD(等離子增強(qiáng)CVD)

答案:

RF激活氣體分子(等離子體),使其在低溫(室溫)下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),淀積成膜。

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