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名詞解釋

SOI

答案：

絕緣層上進(jìn)行硅的異質(zhì)外延。

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SOS

答案：

藍(lán)寶石上硅或者尖晶石的襯底上進(jìn)行硅的異質(zhì)外延。

分子束外延（MBE）

答案：

在超高真空下，利用薄膜組分元素受熱蒸發(fā)所形成的原子或分子數(shù)，直接射到沉底表面，形成外延層。