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問答題

【簡答題】何謂 Gate oxide （柵極氧化層）？

答案：用來當器件的介電層，利用不同厚度的 gate oxide ,可調節(jié)柵極電壓對不同器件進行開...

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【簡答題】Poly（多晶硅）柵極的刻蝕（etch）要注意哪些地方？

答案： ①Poly 的CD（尺寸大小控制；
②避免Gate oxie 被蝕刻掉，造成基材...

【簡答題】Poly（多晶硅）柵極形成的步驟大致可分為那些？

答案： ①Gate oxide（柵極氧化層）的沉積；
②Poly film的沉積及SiON（在光刻...

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