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多項選擇題

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

A.臺板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設(shè)備

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多項選擇題

新的平坦化方法有哪幾個？（）

A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)
B.無磨粒CMP技術(shù)
C.無應(yīng)力拋光技術(shù)
D.電化學(xué)機(jī)械平坦化技術(shù)

多項選擇題

光刻工藝對準(zhǔn)誤差包括（）。

A.上下偏移
B.X或Y方向的平移
C.轉(zhuǎn)動
D.套準(zhǔn)誤差