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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述影響氧化速率的因素？

答案： ①氧化方式（干氧、濕氧或水汽氧化、等離子增強(qiáng)氧化）氣氛：摻氯氣氛增加氧化速率。
②氣壓：氧化速率與氧化劑分壓成...

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答案：

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答案：

A.熱氧化工藝
B.化學(xué)氣相淀積工藝
C.濺射工藝
D.陽(yáng)極氧化工藝

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