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問答題
【簡答題】負性和正性光刻膠有什么區(qū)別和特點?
答案:
特點:光刻膠都對大部分可見光靈敏,對黃光不靈敏。
區(qū)別:負性光刻膠使用時,未感光部分被適當?shù)娜軇┛涛g,而感光部...
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問答題
【簡答題】什么是光刻?光刻的主要流程有哪些?
答案:
光刻就是通過一系列生產(chǎn)步驟,將晶圓薄膜的特定部分去除的工藝。
流程有晶圓涂光刻膠、曝光、顯影、烘干。
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【簡答題】光刻的作用是什么?
答案:
作用是把掩膜上的圖型轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。
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