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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】集成電路特別是邏輯集成電路技術(shù)的類型有哪些?

答案: 以雙極性硅為基礎(chǔ)的ECL技術(shù)、PMOS技術(shù)、NMOS技術(shù),雙極性硅或硅鍺異質(zhì)結(jié)晶體管加CMOS的BiCMOS技術(shù)和GaA...
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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】說(shuō)明用硅材料采用CMOS工藝可形成哪些元件、電路形式以及可達(dá)到的電路規(guī)模?

答案:

可形成D、N/P-MOS、R、C、L元件、可以形成CMOS或SCL電路形式、可達(dá)到ULSI和GSI的電路規(guī)模

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【簡(jiǎn)答題】離子注入法有哪些優(yōu)點(diǎn)?

答案: 摻雜的過(guò)程可通過(guò)調(diào)整雜質(zhì)劑量及能量來(lái)精確控制雜質(zhì)分布,可進(jìn)行小劑量和極小深度的摻雜較低的工藝溫度,故光刻膠可用作掩膜可供...
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