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問答題

【簡(jiǎn)答題】濺射法的含義是什么？

答案：

利用等離子體轟擊被濺射物質(zhì)使其分子或原子逸出，淀積到基片表面形成薄膜

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【簡(jiǎn)答題】Mold材料有哪幾種？目前最常用的是哪種？

答案：

陶瓷、塑料、金屬三類；
目前最常用的是固態(tài)環(huán)氧樹脂（EMC.。

【簡(jiǎn)答題】金屬布線按照在集成電路中的作用可以分為哪些？

答案：

互連、接觸、栓塞