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問答題

【簡答題】常用的CVD哪幾種？說明各自的優(yōu)缺點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域。

答案：（1）常壓化學(xué)氣相淀積，這種工藝所需的系統(tǒng)簡單，反應(yīng)速度快，并特別適于介質(zhì)淀積，但是它的缺點(diǎn)是均勻性較差，氣體消耗量大，...

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（2）縮頸，是為了消除籽晶原有的缺陷或引晶時(shí)由于溫度變化引起的新生...

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