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【簡(jiǎn)答題】版圖設(shè)計(jì)規(guī)則可以用什么形式給出?
答案:
微米規(guī)則和λ規(guī)則。
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【簡(jiǎn)答題】在氧化層上形成所需要的圖形的步驟是什么?
答案:
甩膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠。
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【簡(jiǎn)答題】形成SOI材料的主要技術(shù)是什么?
答案:
注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。
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