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問答題

【簡答題】什么是離子注入損傷？

答案：

離子注入損傷，是指獲得很大動能的離子直接進入半導體中造成的一些晶格缺陷。

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【簡答題】有哪些損傷類型？

答案：

損傷類型：空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。

【簡答題】什么是溝道效應(yīng)？

答案：對晶體靶進行離子注入時，當離子注入的方向與靶晶體的某個晶向平行時，其運動軌跡將不再是無規(guī)則的，而是將沿溝道運動并且很少受...