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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是spacing?如何量測(cè)?
答案：
在電性測(cè)量中，給一條線(poly or metal)加一定電壓，測(cè)量與此線相鄰但不相交的另外一線的電流，此電流越小越好。...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】在量測(cè)Poly/metal導(dǎo)線的特性時(shí), 是利用什么電性參數(shù)得知?
答案：
答可由電性量測(cè)所得的spacing & Rs 值來(lái)表現(xiàn)導(dǎo)線是否異常。
