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填空題
X射線熒光光譜法的分析過程包括以下幾個步驟，即（）、（）、（），對分光后的各單色X射線熒光進行檢測、記錄，根據(jù)記錄數(shù)據(jù)得出定性、定量分析結(jié)果。
答案：
樣品制備；激發(fā)X射線熒光；X射線熒光的分光
