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單項選擇題

離子注入機機架外殼和高壓放電棒接地電阻小于（）。

A.1Ω
B.5Ω
C.10Ω

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Metal slab中的金屬Ti是為了形成金屬硅化物降低接觸電阻。

答案：正確

擴散的低壓工藝有多晶、氮化硅和TEOS。

答案：正確

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