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問答題

【簡答題】光刻的作用是什么？

答案：

作用是把掩膜上的圖型轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。

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【簡答題】什么是整版接觸式曝光？

答案：

掩模尺寸和晶圓尺寸相同，并直接與光刻膠膠層接觸進(jìn)行曝光。

【簡答題】掩模制作方法有哪些？

答案：

圖案發(fā)生器方法、X射線制版、電子束掃描法