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多項選擇題

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

A.可調(diào)整排氣速度
B.可調(diào)節(jié)腔體真空度
C.無需流量調(diào)節(jié)閥
D.降低故障風(fēng)險

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多項選擇題

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

A.構(gòu)造簡單、故障少
B.價格低廉
C.低振動低噪音
D.可高速運(yùn)轉(zhuǎn)

多項選擇題

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

A.無機(jī)械運(yùn)動部分
B.無振動
C.無需再生
D.無噪音

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