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名詞解釋

激發(fā)-松弛碰撞

答案： 當(dāng)電子和原子或者分子碰撞時，電子沒有脫離核的束縛，而是躍遷到更高的能級叫激發(fā)。處于激發(fā)狀態(tài)的電子落回到基態(tài)或者最低能級叫...
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名詞解釋

離子化碰撞
答案： 當(dāng)電子和原子或者分子碰撞時，會將部分能量傳遞到受原子核或分子核束縛的軌道上。
問答題

【簡答題】簡述半導(dǎo)體工藝中等離子體最重要的三種碰撞
答案： 離子化碰撞、激發(fā)-松弛碰撞、分解碰撞
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