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單項(xiàng)選擇題

如果淀積的膜在臺(tái)階上過(guò)度地變薄，就容易導(dǎo)致高的膜應(yīng)力、電短路或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。

A. 誘生電荷
B. 鳥(niǎo)嘴效應(yīng)
C. 陷阱電荷
D. 可移動(dòng)電荷

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多項(xiàng)選擇題

采用二氧化硅薄膜作為柵極氧化層，是利用其具有的（）

A.高電阻率；
B.高化學(xué)穩(wěn)定性；
C.低介電常數(shù)；
D.高介電強(qiáng)度。

單項(xiàng)選擇題

微電子器件對(duì)加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴(yán)格的要求。我國(guó)潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001中，100級(jí)的含義是：每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個(gè)數(shù)為（）

A.35；
B.100；
C.102；
D.237。

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