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多項選擇題
熱處理在機械加工工藝過程中的安排如下：
①在機械加工前的熱處理工序有退火、正火、人工時效；
②在粗加工后、半精加工前的熱處理工序有人工時效、調(diào)質(zhì)；
③在半精加工后、精加工前的熱處理工序有（）；
④在精加工后的熱處理工序有發(fā)黑、鍍鉻。
A.滲碳
B.淬火
C.氮化
D.表面淬火
