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名詞解釋
物理氣相沉積
答案：
“物理氣相沉積”通常指滿意下面三個步驟的一類薄膜生長技術(shù)：A.所生長的材料以物理的方式由固體轉(zhuǎn)化...
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名詞解釋
化學氣相沉積
答案：
化學氣體或蒸氣和晶圓表面的固體產(chǎn)生反應，在表面上以薄膜形式產(chǎn)生固態(tài)的副產(chǎn)品，其它的副產(chǎn)品是揮發(fā)性的會從表面離開。
問答題
【簡答題】硅錠直徑從20世紀50年代初期的不到25mm增加到現(xiàn)在的300mm甚至更大，其原因是什么？
答案：
（1）更大直徑硅片有更大的表面積做芯片，能夠減少硅片的浪費。
（2）每個硅片上有更多的芯片，每塊芯片的加工和處...
（2）每個硅片上有更多的芯片，每塊芯片的加工和處...
