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單項選擇題

在真空狀態(tài)下,向陰極(靶材)施加負(fù)電壓,在磁場作用下,輝光放電的等離子體的正離子撞擊靶材,靶材上的原子飛濺到玻璃上,形成極其均勻的反射膜,此鍍膜法為()

A.化學(xué)熱分解法
B.電浮法
C.真空蒸發(fā)法
D.真空磁控陰極濺射鍍膜

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