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問答題
【簡答題】簡述鉭在銅互連工藝中的作用
答案：
①鉭作為銅淀積前的阻擋層，可以防止銅擴(kuò)散穿過氧化硅進(jìn)入硅襯底損壞元器件。
②鉭與鈦、氮化鈦?zhàn)钃鯇硬牧舷啾?，是?..
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問答題
【簡答題】簡述雙重鑲嵌銅互連技術(shù)的幾個挑戰(zhàn)及雙鑲嵌銅互連工藝流程
答案：
挑戰(zhàn)：
①高深寬比的金屬層間接觸孔需要點(diǎn)擊一層銅阻擋層以防止銅擴(kuò)散，這個阻擋層需要良好的側(cè)壁和底層階梯覆蓋、優(yōu)...
①高深寬比的金屬層間接觸孔需要點(diǎn)擊一層銅阻擋層以防止銅擴(kuò)散，這個阻擋層需要良好的側(cè)壁和底層階梯覆蓋、優(yōu)...
問答題
【簡答題】什么叫“電遷移現(xiàn)象”，集成電路工藝中如何減小電遷移現(xiàn)象。
答案：
鋁金屬是一種多晶態(tài)材料，包含了許多小的單晶態(tài)晶粒。當(dāng)電流通過鋁線時(shí)，電流會持續(xù)不斷碰撞晶粒。一些較小的晶粒就開始移動，如...
