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填空題
電子束加工是使用電子束聚焦后沖擊工件表面,使被沖擊的工件材料達(dá)到幾千℃的高溫,從而引起材料的局部熔化和氣化。它需要有()系統(tǒng)。
答案:
真空
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高能束流加工是利用能量密度很高的電子束、激光束或()等去除工件材料的特種加工方法的總稱。
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離子束
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填空題
微細(xì)加工的特征尺寸范圍為1~10()。
答案:
nm
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