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問答題

【簡答題】簡述CMOS雙阱工藝,畫出標(biāo)準埋層雙極工藝流程示意圖。

答案:

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問答題

【簡答題】在VLSI中,為什么要采用Cu互連及多層金屬化技術(shù)?

答案:

因為Cu的互連線電阻率低,介質(zhì)層介電常數(shù)小。
多層互連對VLSI的意義:1提高集成度;2降低互連延遲3降低成本

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