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問答題

【簡答題】如果旋涂室內(nèi)濕度升高，溫度不變，OD會如何變化？

答案： OD會隨溫度的增加而降低。

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【簡答題】如果旋涂室內(nèi)溫度升高，濕度不變，OD會如何變化？

答案： OD會隨溫度的升高而升高。

【簡答題】在調(diào)整旋涂時，請簡單說明如何降低尾部OD？

答案：增加第三段加速度或降低二段加速度。