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問答題
【簡答題】試說明擴(kuò)散工藝中常用的擴(kuò)散摻雜方法，并說明當(dāng)前實(shí)際工藝中使用的主要方法及理由。
答案：
固態(tài)源擴(kuò)散、液態(tài)源擴(kuò)散和氣態(tài)源擴(kuò)散。
硼和磷在室溫，低蒸汽壓下是固態(tài)的，很難熔化或蒸發(fā)，且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...
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問答題
【簡答題】舉例說明什么是同型摻雜和反型摻雜及各自的目的。
答案：
同型摻雜：所摻雜質(zhì)與晶圓中原有雜質(zhì)類型相同。
目的：提高限定區(qū)域中的雜質(zhì)原子的濃度。
反型摻雜：摻雜...
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反型摻雜：摻雜...
