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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】最早應(yīng)用在半導(dǎo)體光刻工藝中的光刻膠是哪種膠？
答案：
負(fù)光刻膠
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】什么是負(fù)性光刻？正性光刻？
答案：
負(fù)性光刻：把與掩膜版上圖形相反的圖形復(fù)制到硅片上。
正性光刻：把與掩膜版上圖形相同的圖形復(fù)制到硅片上。兩種工藝...
正性光刻：把與掩膜版上圖形相同的圖形復(fù)制到硅片上。兩種工藝...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】根據(jù)成像結(jié)果的不同，光刻膠可分為哪兩種類(lèi)型，其中哪種成本較低且應(yīng)用較早？
答案：
正光刻膠和負(fù)光刻膠；負(fù)光刻膠。
