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問(wèn)答題

【計(jì)算題】
某一電容測(cè)微儀，其傳感器的圓形極板半徑r=4mm，工作初始間隙d=0.3mm，問(wèn)：
（1）工作時(shí)，如果傳感器與工件的間隙變化量Δd=2μm時(shí)，電容變化量為多少？
（2）如果測(cè)量電路的靈敏度S₁=100mV/pF，讀數(shù)儀表的靈敏度S₂=5格/mV，在Δd=2μm時(shí)，讀數(shù)儀表的示值變化多少格？

答案：

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問(wèn)答題

【計(jì)算題】
試推導(dǎo)圖所示變介質(zhì)型電容式位移傳感器的特性方程C=f（x）。設(shè)真空的介電常數(shù)為ε₀，圖中ε₂〉ε₁，極板寬度為W。其它參數(shù)如圖所示。

答案：

問(wèn)答題

【計(jì)算題】
有一個(gè)以空氣為介質(zhì)的變面積型平板電容傳感器如下圖所示，其中a=10mm，b=16mm，兩極板間距為d₀=1mm。測(cè)量時(shí)，一塊極板在原始位置上向左平移了2mm，求該傳感器的電容變化量、電容相對(duì)變化量和位移靈敏度K（已知空氣相對(duì)介電常數(shù)ε=1，真空的介電常數(shù)ε₀=8.854×10^-12F/m）。

答案：