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問答題

【簡答題】質(zhì)量輸運限制CVD和反應(yīng)速度限制CVD工藝的區(qū)別？

答案： 1、質(zhì)量傳輸限制淀積速率
淀積速率受反應(yīng)物傳輸速度限制，即不能提供足夠的反應(yīng)物到襯底表面，速率對溫度不敏感（如...

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