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判斷題

AL刻蝕從設(shè)備中出腔的時(shí)候會(huì)有光刻膠。

答案：錯(cuò)誤

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干法刻蝕速率越快越好。

答案：錯(cuò)誤

CMP耗材需要進(jìn)行定期更換。

答案：正確

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