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名詞解釋

雙氣流MPVPE

答案：采用二組輸入反應(yīng)室的氣路進(jìn)行外延生長，一路為主氣路，沿與襯底平行方向輸入反應(yīng)氣體。另一路稱為副氣路，在垂直于襯底方向高速...

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答案：

ALE

答案：原子層外延，是向襯底交替單獨(dú)供給半導(dǎo)體組成元素的源，使各組成元素以單原子層在襯底上進(jìn)行一層一層地生長一層分子層。

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