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問答題

【簡答題】什么是外延層，為什么在硅片上使用它？

答案：在某種情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面，還要保持對雜質(zhì)類型和濃度的控制，這要通過在硅表面沉積一個外...

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【簡答題】列舉硅片的七種質(zhì)量要求。

答案：物理尺寸；平整度；微粗糙度；氧含量；晶體缺陷；顆粒；體電阻率

【簡答題】定義晶體生長，什么是CZ單晶生長法？

答案：晶體生長：是把半導(dǎo)體級硅的多晶硅塊轉(zhuǎn)換成一塊大的單晶硅。
CZ單晶生長法：是熔化了的半導(dǎo)體級硅液體變?yōu)橛姓_晶...

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