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問答題
【簡(jiǎn)答題】RTP是熱壁系統(tǒng)還是冷壁系統(tǒng)？
答案：
是冷壁系統(tǒng)
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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是快速熱處理，相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點(diǎn)是什么？
答案：
快速熱處理是在非常短的時(shí)間內(nèi)，將單個(gè)硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點(diǎn)：減小熱預(yù)算。硅中...
優(yōu)點(diǎn)：減小熱預(yù)算。硅中...
