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問答題

【簡答題】寫出計(jì)算焦深的公試。

答案： DOF=入/（2*NA）²

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【簡答題】計(jì)算掃描光刻機(jī)的分辨率，假設(shè)波長是248nm， NA=0.65， K是0.6。

答案： 0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA

【簡答題】如果光波長減小分辨率會(huì)有什么變化，如果NA增加了呢？

答案：光波長減小分辨率提高。