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問答題

【簡答題】列舉離子注人優(yōu)于擴散的7點。

答案： 1.精確控制雜質含量。
2.很好的雜質均勻性。
3.對雜質穿透深度有很好的控制。
4.產生...

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【簡答題】離子注入通常在什么工藝之后？

答案：光刻。

【簡答題】列舉用于硅片制造的5種常用摻雜。

答案：離子注入，熱擴散，硅漿料，絲網(wǎng)印刷，激光