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填空題

電渦流式傳感器分反射式和透射式兩種，透射式是采用（）（選“高頻”或“低頻”）的激勵方式。

答案：低頻

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變極距式電容傳感器的電容變化與極板間距之間的關系是成（）關系，為了減小這種關系帶來的測量誤差，常采用（）結構來解決。

答案：非線性；差動

從原理來分，電容式傳感器結構類型有：（）、（）、（）。

答案：變面積式；變極距式；變介電常數(shù)式

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