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填空題

干法刻蝕適用于（）（粗/細(xì)）線條。

答案：細(xì)

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擴(kuò)散只用于淺結(jié)的制備

答案：錯誤

在LPCVD中，由于hG>>kS，即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠(yuǎn)大于表面反應(yīng)速率常數(shù)，所以，LPCVD系統(tǒng)中，淀積過程主要是質(zhì)量轉(zhuǎn)移控制

答案：錯誤

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