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壓電掃描器利用壓電效應(yīng)產(chǎn)生擺動(dòng)的掃描器,具有無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)間隙和高諧振頻率的特點(diǎn)。
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飛點(diǎn)掃描法是利用一個(gè)線光源照明待檢測(cè)表面,并利用單個(gè)探測(cè)器和多面體進(jìn)行光信號(hào)接收。
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空間調(diào)制光束的產(chǎn)生光路中設(shè)置了相互垂直的光闌。
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